激光技術(shù),經(jīng)過五十年的發(fā)展,已經(jīng)從實(shí)驗(yàn)探索中走出了象牙之塔,走上實(shí)用化的道路。目前的激光技術(shù)已與多個(gè)學(xué)科相結(jié)合,形成多個(gè)應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,比如光電技術(shù),激光醫(yī)療與光子生物學(xué),激光檢測與計(jì)量技術(shù),激光全息技術(shù),激光化學(xué),激光制導(dǎo),激光可控核聚變等等。這些交叉技術(shù)與新的學(xué)科的出現(xiàn),又不斷推動(dòng)了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 作為20世紀(jì)重大發(fā)明之一的激光技術(shù),近年來得到不斷發(fā)展,從而引發(fā)全球激光產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。而在制造業(yè),如汽車、電子、航空航天、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域已基本完成了傳統(tǒng)工藝的更新?lián)Q代。尤其涉及材料加工領(lǐng)域,已經(jīng)開始大規(guī)模應(yīng)用激光加工技術(shù),正式步入“光加工”時(shí)代。 而這項(xiàng)蓬勃發(fā)展的新型技術(shù)激光打標(biāo)激光打標(biāo)機(jī),不僅被大規(guī)模地應(yīng)用在電子半導(dǎo)體、汽車、材料加工、機(jī)械制造、鋼鐵冶金、石油、五金、電氣儀表、輕工、醫(yī)療器械、包裝、禮品工業(yè)、鐘表、服裝、化妝品、煙草、航空航天、裝飾裝潢印刷、交通運(yùn)輸、制藥、卷煙等行業(yè)等諸多工業(yè)領(lǐng)域,并且融入到了人民大眾的日常生活,更是為工業(yè)時(shí)代帶來了無限的商機(jī)。 激光技術(shù)在電子行業(yè)中的應(yīng)用激光加工技術(shù)屬于非接觸性加工方式激光打標(biāo)激光打標(biāo)機(jī),所以不產(chǎn)生機(jī)械擠壓或機(jī)械應(yīng)力,特別符合電子行業(yè)的加工要求。由于激光加工技術(shù)的高效率、無污染、高精度、熱影響區(qū)小,因此在電子工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。 如在集成電路生產(chǎn)過程中采用的激光劃片技術(shù),可以達(dá)到提高硅片利用率高、成品率高和切割質(zhì)量好的目的,還可用于單晶硅、多晶硅、非晶硅太陽能電池的劃片以及硅、鍺、砷化稼和其他半導(dǎo)體襯底材料的劃片與切割。又如在對(duì)指定電阻進(jìn)行自動(dòng)粳米微調(diào)中采用的激光微調(diào)技術(shù),精度高、加工時(shí)對(duì)鄰近的元件熱影響極小、不產(chǎn)生污染、又易于用計(jì)算機(jī)控制,可以滿足快速微調(diào)電阻使之達(dá)到精確的預(yù)定值的目的,同樣可以用激光技術(shù)進(jìn)行片狀電容的電容量修正及混合集成電路的微調(diào)。優(yōu)越的定位精度,使激光微調(diào)系統(tǒng)在小型化精密線形組合信號(hào)器件方面提高了產(chǎn)量和電路功能。又如激光打標(biāo)技術(shù)也已大量用在給電子元器件、集成電路打商標(biāo)型號(hào)、給印刷電路板打編號(hào)等。而激光電鍍作為新興的高能束流電鍍技術(shù),對(duì)微電子器件和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)和修補(bǔ)具有重大意義。目前,雖然激光電鍍原理、激光消融、等離子激光沉積和激光噴射等方面還在研究之中,但其技術(shù)已在使用。
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